Target Titanium Gr1 Gr2, Target Sputtering Titanium Murni Kepadatan Tinggi

titanium murni berkualitas tinggi target sputtering cakram titanium Gr1 Gr2

Bahan target adalah bahan target yang dibombardir oleh partikel bermuatan berkecepatan tinggi.Ada logam, paduan, oksida, dll. Ganti bahan target yang berbeda (seperti aluminium, tembaga, baja tahan karat, titanium, target nikel, dll.), Anda bisa mendapatkan sistem film yang berbeda (seperti super keras, tahan aus, film paduan anti-korosi, dll.).

(1) Target logam: target nikel, Ni, target titanium, Ti, target seng, Zn, target kromium, Cr, target magnesium, Mg, target niobium, Nb, target timah, Sn, target aluminium, Al, target indium, Dalam , target besi, Fe, target aluminium zirkonium, ZrAl, target aluminium titanium, TiAl, target zirkonium, Zr, target silikon aluminium, AlSi, target silikon, Si, target tembaga Cu, target tantalum T, a, target germanium, Ge, Perak target, Ag, target kobalt, Co, target emas, Au, target gadolinium, Gd, target lantanum, La, target yttrium, Y, target cerium, Ce, target tungsten, w, target stainless steel, target nikel-kromium, NiCr, Target hafnium, Hf, target molibdenum, Mo, target besi-nikel, FeNi, target tungsten, W, dll.

(2) Target keramik: target ITO, target magnesium oksida, target oksida besi, target silikon nitrida, target silikon karbida, target titanium nitrida, target kromium oksida, target seng oksida, target seng sulfida, target silikon dioksida, satu target silikon oksida, target serium oksida, target zirkonium dioksida, target niobium pentoksida, target titanium dioksida, target zirkonium dioksida, target hafnium dioksida, target titanium diboride, target zirkonium diborida, target tungsten trioksida, target aluminium oksida, tantalum oksida, target niobium pentoksida, target magnesium fluorida , target yttrium fluoride, target seng selenida, target aluminium nitrida, target silikon nitrida, target boron nitrida, target titanium nitrida, Target silikon karbida, target lithium niobate, target praseodymium titanat, target barium titanat, target lantanum titanat, target nikel oksida, sputtering sasaran, dll.

2. Persyaratan kinerja utama dari target

(1) Kemurnian

Kemurnian adalah salah satu indikator kinerja utama dari target, karena kemurnian target memiliki pengaruh besar pada kinerja film.Namun, dalam aplikasi praktis, persyaratan kemurnian bahan target juga berbeda.Misalnya, dengan perkembangan pesat industri mikroelektronika, ukuran wafer silikon telah berkembang dari 6 ", 8" menjadi 12 ", dan lebar kabel telah dikurangi dari 0,5um menjadi 0,25um, 0,18um atau bahkan 0,13um, kemurnian target sebelumnya 99,995% Dapat memenuhi persyaratan teknis 0,35umIC, dan persiapan garis 0,18um membutuhkan 99,999% atau bahkan 99,9999% untuk kemurnian target.

(2) Konten pengotor

Kotoran dalam target padat dan oksigen dan uap air di pori-pori adalah sumber utama polusi untuk film yang diendapkan.Target yang berbeda memiliki persyaratan yang berbeda untuk konten pengotor yang berbeda.Misalnya, target aluminium murni dan paduan aluminium yang digunakan dalam industri semikonduktor memiliki persyaratan khusus untuk kandungan logam alkali dan kandungan unsur radioaktif.

(3) Kepadatan

Untuk mengurangi pori-pori pada padatan target dan meningkatkan kinerja film tergagap, target biasanya diharuskan memiliki kerapatan yang lebih tinggi.Kepadatan target tidak hanya mempengaruhi laju sputtering, tetapi juga mempengaruhi sifat listrik dan optik film.Semakin tinggi kepadatan target, semakin baik kinerja film.Selain itu, meningkatkan kepadatan dan kekuatan target memungkinkan target untuk menahan tekanan termal dengan lebih baik selama sputtering.Kepadatan juga menjadi salah satu indikator kinerja utama dari target.

(4) Ukuran butir dan distribusi ukuran butir

Bahan target biasanya polikristalin, dan ukuran butir bisa dalam urutan mikron hingga milimeter.Untuk bahan target yang sama, laju sputtering target dengan butiran halus lebih cepat daripada target dengan butiran kasar;ketebalan film disimpan dengan sputtering target dengan perbedaan kecil dalam ukuran butir (distribusi seragam) lebih seragam.

3. Bahan

TA0, TA1, TA2, TA9, TA10, ZR2, ZR0, GR5, GR2, GR1, TC11, TC6, TC4, TC3, TC2, TC1

4. Tujuan

Ini banyak digunakan dalam pelapis dekoratif, pelapis tahan aus, CD dan VCD di industri elektronik, serta berbagai pelapis disk magnetik.

Film tungsten-titanium (W-Ti) dan film paduan berbasis tungsten-titanium (W-Ti) adalah film paduan suhu tinggi dengan serangkaian sifat luar biasa yang tak tergantikan.Tungsten memiliki sifat seperti titik leleh tinggi, kekuatan tinggi dan koefisien ekspansi termal yang rendah.Paduan W / Ti memiliki koefisien resistansi rendah, stabilitas termal yang baik, dan ketahanan oksidasi.Seperti berbagai perangkat membutuhkan kabel logam yang memainkan peran konduktif, seperti Al, Cu, dan Ag telah banyak digunakan dan diteliti.Namun, logam pengkabelan itu sendiri mudah teroksidasi, bereaksi dengan lingkungan sekitarnya, dan memiliki daya rekat yang buruk pada lapisan dielektrik.Mudah berdifusi ke bahan substrat perangkat seperti Si dan SiO2, dan akan membentuk logam dan Si pada suhu yang lebih rendah.Senyawa, yang bertindak sebagai pengotor, sangat menurunkan kinerja perangkat.Paduan W-Ti mudah digunakan sebagai penghalang difusi kabel karena sifat termomekanis yang stabil, mobilitas elektron yang rendah, ketahanan korosi yang tinggi, dan stabilitas kimia, terutama cocok untuk digunakan di lingkungan arus tinggi dan suhu tinggi.

2. Gambar

3.Pabrik & Sertifikat

4.Paket & Pengiriman

kemasan:

Bungkus bahan target dengan kapas mutiara dan masukkan ke dalam kotak kayu.Metode pengemasan kami yang masuk akal dapat menghindari bahan target bertabrakan satu sama lain selama transportasi, dan juga dapat mencegah dampak barang eksternal pada produk, dan memastikan bahwa produk dikirim setelah pengiriman.

----1.Kemasan yang disegel, kemudian dimasukkan ke dalam kotak Karton atau kotak kayu lapis standar standar.

---2.Menggunakan karton kustom eksklusif dengan logo pelanggan, masing-masing kemasan individu, untuk membantu pembeli penjualan langsung.

--- Terima persyaratan pelanggan

Pastikan bahwa setiap paket dibuat khusus untuk Anda.memastikan ketika Anda mendapatkan barang tidak rusak.